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指示光源衍射所引起的位置敏感探测器附加定位误差探讨
介绍位置敏感探测器工作原理,分析了其自动取光斑重心的定位机理。概括了位置敏感探测器的各种工作方式,指出了在许多位置敏感探测器......
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位置敏感探测器
光斑定位
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position error.
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